旋轉(zhuǎn)鎢鉬復(fù)合靶材在使用過(guò)程中的利用率遠(yuǎn)大于鎢鉬平面靶材。它可以采用熱等靜壓技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)，所得靶材的密度接近理論密度，其組織均勻性及純度等指標(biāo)均較優(yōu)。衡量靶材質(zhì)量的主要因素有純度、致密度、晶粒尺寸及分布等。
鎢鉬旋轉(zhuǎn)靶材的制作分為燒結(jié)法（輔以鍛造整形或熱等靜壓）、噴涂法和拉拔法。以燒結(jié)法生產(chǎn)得到的旋轉(zhuǎn)靶材可以達(dá)到比較好的性能，但長(zhǎng)度受到設(shè)備的局限較大；采用噴涂法生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)靶材具有長(zhǎng)度不受限制的優(yōu)勢(shì)，但在密度、強(qiáng)度和厚度上有瓶頸。而拉拔法生產(chǎn)旋轉(zhuǎn)靶材在國(guó)外較成熟，值得我們借鑒。
中鎢在線科技有限公司可生產(chǎn)不同尺寸的旋轉(zhuǎn)鎢鉬復(fù)合靶材以配合不同型號(hào)的磁控濺射設(shè)備使用。
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