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石墨烯半導體“復印機” 竟能降低晶圓制造成本

前些日子,麻省理工學院工程師開發(fā)了一種新技術(shù)可能大大降低晶圓制造的總體成本,并且能制造比傳統(tǒng)硅材料性能更高的半導體材料器件。

半導體圖片

這種新方法的基本過程是使用石墨烯作為一種“復制機器”,再將復雜的晶體圖案從下面的半導體晶片轉(zhuǎn)移到相同材料的頂層。這種工藝可用于設(shè)計未來的新二維半導體材料晶圓,例如二硒化鎢,二硒化鉬、黑磷等,如果這些新材料未來會被應(yīng)用于芯片制造的話。

工程師制定了精心控制的程序,將單張石墨烯放在昂貴的晶圓上。然后他們在石墨烯層上生長半導體材料。他們發(fā)現(xiàn)石墨烯足夠薄以致看起來不可見,然后頂層的材料透過石墨烯看到下面的晶體晶片,印記其圖案而不受石墨烯的影響。

石墨烯也相當“滑”,并且不容易粘附到其他材料上,使得工程師可以在其結(jié)構(gòu)被印刻后從晶片上簡單地剝離頂部半導體層。

晶圓圖片

在傳統(tǒng)的半導體制造中,一旦晶圓被轉(zhuǎn)移,晶圓與半導體的結(jié)合力非常強幾乎不可能在不破壞兩層的情況下分離。但通過新技術(shù),制造商現(xiàn)在可以使用石墨烯作為中間層,允許他們復制和粘貼晶圓,從晶圓上分離復制的薄膜,并重復使用晶圓多次。這樣除了節(jié)省晶圓成本之外,這也為探索和研究更多具有潛力的半導體材料提供了機會。

至今,半導體行業(yè)一直停留在硅片上,盡管我們已經(jīng)找到了性能更好的半導體材料,例如硒化鎢、但由于成本的原因,我們還沒有能夠完全開發(fā)它們,能實現(xiàn)商業(yè)化的半導體不僅是性能,還有成本。

在石墨烯被發(fā)現(xiàn)之初,人們希望可以用石墨烯制造出非??焖俚碾娮悠骷?,但事實證明,理想和現(xiàn)實永遠有差距,石墨烯雖然具有超強的導電性,但卻是零帶隙材料,阻止電子流過石墨烯非常困難,這使得它成為一種優(yōu)秀的導體,但卻是一種不好的半導體。因為要想使晶體管工作,它必須能夠打開和關(guān)閉電子的流動,以產(chǎn)生一個1和0的模式,指示設(shè)備如何執(zhí)行一組計算。

因此,研究人員沒有專注于石墨烯的電性能,而是研究了這種材料的機械特性。因為它是一種非常強大的超薄材料,在水平方向上原子之間形成非常強的共價鍵,它的范德華力非常弱,這意味著它不會與任何垂直方向發(fā)生反應(yīng),這使得石墨烯表面非常光滑。

所以美國科學家認為,具有超薄特氟隆特性的石墨烯可以夾在晶片和半導體層之間,提供幾乎不可察覺的不粘表面,通過該表面,新型半導體材料的原子可以在晶片的晶體圖案中重新排列。材料一旦被印刷,就可以簡單地從石墨烯表面剝離,使制造商能夠重新使用原始的晶圓。

研究人員已成功地將他們的技術(shù)應(yīng)用于未來具有潛力的晶圓和半導體材料,包括硒化鎢、硫化鎢、磷化銦,總之,這項新技術(shù)使得制造商可以應(yīng)用于硅片和任何性能更高的材料。

雖然,石墨烯本身很難作為半導體材料,但是卻可以將它應(yīng)用到新半導體的制造工藝中,這項技術(shù)可能徹底改變半導體異質(zhì)結(jié)構(gòu)的薄膜生長,形成新穎的電子和光學器件應(yīng)用?!闭雇磥恚芯咳藛T計劃設(shè)計一個可重復使用的“母晶片”,創(chuàng)造出多功能,高性能的設(shè)備。以石墨烯作為媒介,不必擔心晶圓的成本,就相當于一臺復印機,可以復印任何的半導體器件,然后剝離它,再重新使用晶圓。

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