新しい建築用省エネガラスに用いられる紫色の酸化タングステン（W18O49）は、スパッタリング法で製造できます。一部の専門家は、直徑15～20nm、平均長さ50～250nmのW18O49ナノロッドをスパッタリング法で製造しています。では、紫色の酸化タングステンナノパウダーは、スパッタリング法でどのように製造されるのでしょうか？
詳細(xì)については、以下のサイトをご覧ください。
http://www.violet-tungsten-oxide.com/japanese/index.html
W18O49ナノロッドは、石英リアクターガラス基板上に成長します。実験は、タングステン薄膜サンプルを大気圧窒素雰囲気下で700℃まで加熱した後、エチレンを反応器に導(dǎo)入し、20分間反応させた後、オンラインクロマトグラフモニターを用いて生成ガスの組成を分析?検出するという手順で行われた。最後に、サンプルを窒素雰囲気下で室溫まで冷卻した。ナノロッドは薄膜上に均一かつ垂直に、高い収率で成長した。さらに研究を進(jìn)めた結(jié)果、薄膜の両面に同時(shí)にナノロッドが成長できることも明らかになった。
