制備介孔結構氧化鎢氣敏元件

制備介孔結構氧化鎢氣敏元件，將介孔氧化鎢涂覆在預制有鉑電極的氧化鋁基片（Al2O3陶瓷片）上成膜，然后高溫熱處理除去有機模板，得到蠕蟲狀孔道結構的氧化鎢薄膜，并以此為氣敏敏感層，測試了元件的氣敏性能，

首先制備Al2O3基片，先將基片（Al2O3陶瓷片）進行清洗，為拋光的陶瓷片上存在渣滓，這些雜質的存在可能會導致元件性能的偏移甚至改變。清洗完后采用直流對靶磁控濺射法 借助掩膜版在清潔的Al2O3基片表面沉積叉指Pt電極。
 
然后利用涂覆法在鍍有叉指電極的Al2O3基片表面制備介孔氧化鎢氣敏薄膜；取少量的介孔氧化鎢粉末，加入適量沾性松油醇，混合研磨成具有一定粘稠和流動性的氧化鎢涂覆漿料。利用松油醇的粘滯性，可控制漿料的流動性便于成膜；在燒結過程中，有機溶劑緩慢揮發(fā)，可以保證燒結成形后的薄膜平整、不龜裂。將漿料涂覆鍍有電極的氧化鋁表面，保證厚度均一致。空氣中放置10min。

最后將表面涂覆有氧化鎢薄膜的傳感器基片置于程序控溫退火爐中，空 氣氣氛中于設定溫度下保溫2h，使有機溶劑得以揮發(fā)，氧化鎢納米顆粒粘結從而使薄膜牢固的粘結在基片上。退火溫度宜控制在在300℃-400℃區(qū)間內，溫度過高會帶來晶體生長或晶型結構變化而破壞已有的介孔結構，但如果溫度過低，一方面無法有效脫除殘留的有機溶劑，另一方面難以滿足通過退火固化敏感層的需要。