專家使用金屬鎢與鎢鈦合金為靶材，採(cǎi)用脈衝直流反應(yīng)磁控濺射的方法分別製備了未摻雜WO3薄膜與鈦摻雜三氧化鎢電致變色薄膜。研究了在製備過程中，薄膜厚度對(duì)薄膜晶體結(jié)構(gòu)，表面形貌以及電致變色性能的影響，發(fā)現(xiàn)：
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http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
WO3薄膜著色後產(chǎn)生晶格應(yīng)變和表面粗糙度的變化，隨著薄膜厚度增加，均先減小後增大，在薄膜厚度為250nm時(shí)最小。在相同驅(qū)動(dòng)電壓下，厚度300nm薄膜褪色時(shí)由於產(chǎn)生的晶格應(yīng)變過大導(dǎo)致鋰離子遷移受阻，一部分W5+無法轉(zhuǎn)變成W6+，不能完全褪色，變色幅度變小同時(shí)著色效率下降。薄膜厚度為250nm時(shí)，電致變色性能最佳，有著較高的光學(xué)調(diào)製幅度和變色效率。
