高光電性能氧化鎢薄膜可以採用水熱法製備得到。其中，專家採用鹽酸和雜多酸共同酸化。他們發(fā)現(xiàn)，在酸化過程中摻入少量的雜多酸就能較大幅度地提高制得的WO3薄膜的光電性能。下面主要介紹該種方法製備高光電性能WO3薄膜的具體步驟：
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水熱法製備高光電性能氧化鎢薄膜
第一步：稱取0.7mmol Na2WO4?2H2O溶於30mL去離子水中，室溫?cái)嚢柘轮鸬渭尤?mL 3MHCl溶液，再加入磷鎢酸，加入磷鎢酸的摩爾量是鎢酸鈉的5%，攪拌至白色沉澱不再增加；
第二步：加入1.6mmol (NH4)2C2O4作為結(jié)構(gòu)導(dǎo)向劑，補(bǔ)加去離子水至溶液總體積為70mL，繼續(xù)攪拌2h。將預(yù)先清洗好的FTO導(dǎo)電玻璃傾斜放入反應(yīng)釜內(nèi)襯中。將上述溶液移入反應(yīng)釜中，密封後放入鼓風(fēng)乾燥箱中，於150℃下水熱反應(yīng)24h，自然冷卻至室溫。
第三步：取出導(dǎo)電玻璃，用去離子水清洗，於烘箱60℃下乾燥，在500℃煆燒1h，制得WO3薄膜。
