離子鍍法制備三氧化鎢薄膜

三氧化鎢（WO3）薄膜具有良好的變色性能，能適用于生活中的許多方面，如：建筑材料、眼睛鏡片、環(huán)境保護等方面。WO3薄膜由于其實用性與可發(fā)展性，受到許多學(xué)者的青睞，研制出了多種制備方式，但是遺憾的是部分制備方式只能適用于實驗室，本文介紹采用離子鍍法制備三氧化鎢的機理。

離子鍍的原理是利用等離子體在薄膜沉積過程中對膜料蒸汽分子或原子的作用，提高沉積分子和原子的沉積能量。該技術(shù)是近十幾年來在真空蒸發(fā)和真空濺射兩種鍍膜技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新的鍍膜技術(shù)。其中低壓反應(yīng)離子鍍技術(shù)是研究較多的一種離子鍍技術(shù)，它是蒸發(fā)鍍膜技術(shù)與電離技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。低壓反應(yīng)離子鍍可提高光學(xué)薄膜的折射率和降低吸收，使薄膜在原始態(tài)和退色態(tài)的透過率得到提高，同時薄膜的致密度和附著性得到提高，變色壽命會提高。低壓反應(yīng)離子鍍的另一優(yōu)點是不用加熱基板。然而，該方法不能制備大面積的薄膜，工藝較為復(fù)雜，成本較高，應(yīng)用于實際生產(chǎn)還需進行較大的改進。