三氧化鎢基O3氣體傳感器

目前臭氧（O3）被廣泛應(yīng)用到污水處理、消毒殺菌、醫(yī)療衛(wèi)生上，當(dāng)空氣中O3的相對(duì)體積分?jǐn)?shù)超過10-7時(shí)，對(duì)人體就要一定的危害。臭氧對(duì)建筑材料、衣物及其他物質(zhì)材料等也有損壞作用。

從20世紀(jì)90年代末開始人們對(duì)三氧化鎢（WO3）基O3氣敏傳感器的研究逐漸活躍起來。例如，2002年，Aguir采用射頻反應(yīng)磁控濺射法制備了WO3氣敏傳感器，并研究了其對(duì)O3的敏感性能及其在不同溫度下的電性能。2007年，Boulmani采用磁控濺射法制備了WO3氣敏傳感器，研究了濺射參數(shù)與O3氣體的氣敏響應(yīng)之間的關(guān)系。2008年，Belkacem制備了納米Co摻雜的WO基氣敏傳感器。結(jié)果表明，Co摻雜后使WO3由n型變成了p型并提高了其在O3氣體中的電導(dǎo)。王冬青慘入3%Nb2O5到WO3基體中做成O3敏感元件，發(fā)現(xiàn)其靜態(tài)電阻和靈敏度均比較穩(wěn)定，比較適合開發(fā)環(huán)境溫度變化較小的O3敏感元件。